AFM探针/原子力探针/导电探针(DDESP-10)

常用探针型号介绍

1. 轻敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP

2. 接触模式，SNL，NP，

3. 智能扫描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+

4. 磁力显微镜，MESP-V2,MESP-RC-V2

5. 静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。

6.  其他特殊功能探针。如金刚石探针，大长径比探针。

指标：

探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。

1. 基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。

2. 悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。

3. 针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，前角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁最末端的水平距离。

材质：

1. 轻敲探针：一般是单晶硅，型号如RTESP；

2. 接触模式探针：材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；

3. 功能探针：如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。