ES612 ESD(HBM,HMM,MM) ES612 ESD 测试仪

Description

1.说明

 ES612 ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形表现。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形,为数据分析提供可靠依据。此外,电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测,因此可进行ESD事件的损伤判定。

 

2.特点

  • 低寄生参数,具有高质量脉冲
  • 可定制,可扩展
  • 可搭配探针台进行晶圆级测试
  • 外置可选配的自动故障检测模块
  • 触摸控制面板
  • 可固件升级
  • 可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件
  • 可选配的脉冲IV和DC IV表征功能

3.应用

  • 用于晶圆、封装、PCB和系统级器件的通用ESD测试
  • HBM模块符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014
  • HMM模块符合ANSI / ESD SP5.6-2009
  • MM模块符合ANSI / ESD STM5.2-2012

4.规格

ES612 控制主机

参数ES612-2KES612-8KES612-12KES612-20K单位
输出电压± 10 ~ 2000± 10 ~ 8000± 10 ~ 12000± 10 ~ 20000V
最小输出电压步长1V (500V以内)

 

10V (2 kV以内)

1V (500V以内)

 

10V (8 kV以内)

1V (500V以内)

 

10V (12 kV以内)

1V (500V以内)

 

10V (20 kV以内)

V,

 

kV

输出电压精度 ± 1 % 或 ± 5 V%
尺寸347 X 300 X 145mm
重量5667kg
电压、电流测量电压、电流测量无源探头
支持的示波器Keysight, Tektronix,Lecory主流型号示波器
支持的SMUKeithley 24xx/26xx 系列

外置人体模型(HBM )波形发生模块

 

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