ES620-25A TLP ES620 TLP 传输线脉冲测试系统

Description

系统的传输线脉冲(TLP)测试和分析功能符合 ANSI/ESD STM5.5.1-2014 测试标准。ES620系统能够向器件注入高质量矩形波脉冲，同时记录流经器件的电流和器件两端电压。测试结果能够提供脉冲式IV曲线，使用户能够表征器件在纳秒级的瞬态响应。系统还具有先进的器件失效自动化检测方法，例如漏电流测试，静态IV曲线，熔断和火花放电。

超快TLP (vf-TLP) 测试和分析功能符合ANSI/ESD SP5.5.2-2007测试标准。vf-TLP 测试用于模拟CDM速度的静电放电，捕捉高速（大约100 ps 上升沿）状态下器件的电流和电压。用户可以通过这种方法测试器件的响应速度和峰值电压。

人体金属模型(HMM) 测试和分析功能符合 ANSI/ESD SP5. 6-2009 测试方法，该方法可替代IEC61000-4-2 中系统级ESD测试方法，用于测试 IC。当测试低阻抗器件或者晶圆时，系统的该测试功能可以提供符合IEC61000-4-2标准的理想波形，并且避免许多静电放电枪测试时可能出现的问题，例如可重复性差，放电位置不对，由未屏蔽继电器产生的EMI互扰，需要设置大接地平板和耦合板。

系统有完整的软件控制，可定制上升沿时间和脉冲宽度，与IVI仪器有良好的兼容性，体积小，价格优惠。

特点:

配置最灵活的TLP IV曲线脉冲测试分析系统
超便携设计
超快测试速度，程序并行处理
目前测试版本有 25 A, 50 A，和100 A 模块
高质量TLP脉冲
可扩展的测试模块包括 vf-TLP, HMM, HBM, 和低压浪涌
自动化故障检测方法包括：
DC 抽查 (电压或电流), 静态IV, 熔融, 击穿, 偏置源波动, 以及客户自定义
软件控制的脉冲注入: 单次, 连续, IV-曲线表征
上升沿选项：60 ps 至 50 ns *(取决于模块)
脉冲宽度选项： 1 ns 至 3200 ns *(取决于模块)

应用:

晶圆级ESD测试
PCB/封装级ESD测试
系统/电路 ESD 测试
安全工作区 (SOA) 测试
充电恢复时间测试
差分ESD脉冲注入
触摸屏ITO微带线熔断测试
触摸屏ITO微带线火花放电测试
TLP注入电流脉冲符合并超过ANSI/ESD STM 5.5.1-2008标准
vf-TLP注入电流脉冲符合并超过ANSI/ESD SP5.5.2-2007标准
对于低阻抗器件，HMM的注入电流脉冲与 IEC61000-4-2 波形相符

规格:

ES620 基于传输线脉冲的 IV-曲线测试系统

参量	ES620-25	ES620-50	ES620-100	单位	备注
开路输出电压	± 0.5 ~ 1250	± 0.5 ~ 2500	± 0.5 ~ 5000	V
50 Ω负载时，输出电压	± 0.25 – 625	± 0.5 ~ 1250	± 0.5 ~ 2500	V
50 Ω负载时，最小电压步长低电压 – 40 V	0.01	0.01	0.02	V	带 46 dB 反射抑制
50 Ω负载时，最小电压步长 40V 至高电压	0.1	0.1	0.2	V	带6 dB 反射抑制
输出电压误差	< 5 %			%	自校准后
短路输出电流	± 0.01 ~ 25	± 0.02 ~ 50	± 0.04 ~ 100	A
50 Ω负载时，输出电流	± 0.005 ~ 12.5	± 0.01 ~ 25	± 0.02 ~ 50	A
50 Ω负载时，峰值功率	≥ 7.813	≥ 31.25	≥ 125	kW
自带TLP上升沿时间	≤ 0.2	≤ 0.2	≤ 0.3	ns	ES620-25可达 60 ps
其他上升沿时间选项	0.06 ~ 50			ns	与模型有关，请看表2
自带TLP 脉冲宽度	100 ± 1			ns	自定义
其他脉宽选项	1 ~ 3200	5 ~ 1000	5 ~ 1000	ns	与模型有关，请看表3
测试间隔时间	一般为0.2 ~ 2			s	与示波器，SMU和规定有关
尺寸	347 X 300 X 145			mm
重量	5	6	8	kg
I &V 直接测量	I &V 直接测量探头A6213-T1 (CT-2电流探头和 1K T型电压探头)
可配用示波器	Tektronix, Agilent, LeCroy, Rigol的大部分型号				其他型号可根据客户需求进行匹配支持
可配用SMU	Keithley 24xx/26xx系列 SMU				其他型号可根据客户需求进行匹配支持

ES620-HMM1 扩展的人体金属模型模块
(DUT为短路, 100 Ω HMM ，基于ANSI/ESD SP5.6-2009标准)

参数	ES620-25	ES620-50	ES620-100	单位	备注
HMM 峰值电流	22.5	45	90	A	每千伏3.75 A ≤ ± 10 % IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF)
30 ns时的HMM 电流	12	24	48	A	≤ ± 10 % (优于IEC 的±30% )
60 ns时的HMM 电流	6	12	24	A	≤ ± 10 % (优于IEC的 ±30% )