M-SHP-X系列 超高精密电动平移台

Description

M-SHP-X系列超高精密电动平移台

• 加厚铝合金底座,基准面精密磨削,保证整体性能稳定

• 内置进口超高精密光栅尺,闭环分辨率可达0.1μm

• 进口超高等级滚珠丝杠,超高定位精度

• 进口超高等级交叉滚枉导轨,超高运动性能

• 标配三相步进电机,有效降低电移台运行时的振动和噪音

 

型号

M-SHP-50-X

M-SHP-100-X

M-SHP-150-X

M-SHP-150-X

行程(mm)

50

100

150

200

滚珠丝杠导程(mm)

4

电机型号

FHB366-D(三相)

闭环分辨率(μm)

0.1

最大速度(mm/s)

40

重复定位精度(μm)

<2

回程间隙(μm)

<1

运动直线度(μm)

<6

<10

运动平直度(μm)

<6

<10

自重(Kg)

8.5

 

10.5

13.5 15

中心负载(Kg)

30

M-SHP-X系列超高精密电动平移台